국립한밭대, 반도체 광학 검사 기술 1억 5천만 원에 이전

노진성 교수

국립한밭대학교(총장 오용준) 기계공학과 노진성 교수가 개발한 차세대 반도체 광학 검사 기술이 국내 반도체 검사 장비 전문기업인 ㈜뮤텍코리아에 이전됐다. 대학의 연구 성과를 기업의 제품 개발 및 사업화와 연계함으로써 산학협력을 통한 기술사업화의 기반을 마련했다는 점에서 의미가 있다.

국립한밭대 산학협력단은 지난 9월 ㈜뮤텍코리아와 ‘단촬상 타원분광법을 이용한 반도체 검사 장치’(등록특허 제10-2515593호)에 대한 기술이전 계약을 체결한 데 이어, 최근 등록특허 양도 방식으로 기술이전을 완료했다고 밝혔다. 기술이전 금액은 총 1억 5,000만 원이다.

이번에 이전된 기술은 반도체 제조공정에서 박막의 두께와 광학적 특성을 분석하는 타원분광법을 기반으로, 단일 촬상 방식을 적용한 정밀 광학 검사 기술이다.

기존 타원분광 계측 방식과 비교해 측정 시간을 단축하고 시스템 구성을 간소화할 수 있다는 점이 특징이다. 이에 따라 고속·고정밀 광학 계측이 요구되는 반도체 제조공정에서 관련 검사 장비의 성능과 효율성을 높이는 데 활용될 것으로 기대된다.

특히 이번 기술이전은 대학이 개발한 반도체 정밀 광학 계측 기술을 국내 전문 장비기업의 제품 개발 및 사업화와 연계했다는 점에서 주목된다. 기술을 이전받은 ㈜뮤텍코리아는 반도체 검사 및 광학 장비 관련 기술을 개발하는 기업으로, 이번 기술이전을 통해 차세대 반도체 광학 검사 장비의 사업화 기반을 강화할 것으로 전망된다.

노진성 기계공학과 교수는 “이번 기술이전은 대학의 연구 성과가 실제 산업 현장의 반도체 검사 장비 개발로 이어지는 의미 있는 성과”라며 “앞으로도 국내 기업과의 산학협력을 강화해 반도체 검사·계측 기술의 국산화와 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다”고 말했다.

한편, 노 교수 연구팀은 반도체 제조 및 첨단 패키징 분야에서 정밀 계측, 비파괴 검사, 인공지능(AI) 기반 결함 분석 기술 등을 연구하고 있다. 산업 현장에 적용할 수 있는 검사·계측 기술 개발을 통해 반도체 산업의 기술 경쟁력 강화에 주력하고 있다.