한밭대학교 김동수 교수

국립 한밭대학교(총장 최병욱) 창의융합학과 김동수 교수 연구팀은 한국생산기술연구원, 한국과학기술원과 공동으로 산업통상자원부에서 주관하는 산업기술알키미스트프로젝트 과제를 통해 신개념의 AEM(Atomizer Electromagnetic Movable mask) 나노 3D 프린터 원천 기술을 개발했다고 4일 밝혔다. 

이 기술은 직경 5nm 이하, 100nm 이상 높이의 멀티 어레이 나노 패턴이 가능하며, 향후 RNA/DNA chip, 3D 입체 트랜지스터 개발 등으로 바이오 및 전자산업 분야 혁신을 앞당길 것으로 기대를 모으고 있다. 

또한 기존 ESD(Electrostatic Deposition) 장비로는 나노 패터닝 수율이 30%인 반면, AC 솔레노이드코일을 이용한 AEM 나노 3D 프린터는 수율 100%로 나노 패터닝이 가능하다.

아울러 기존 나노 선 패터닝에 국한되었던 한계를 넘어 나노 면 및 입체 패턴 뿐만 아니라 멀티 어레이 패턴 제조가 가능하다는 점을 이론적 해석을 통해서 입증하였다.  

이를 통해 나노 3D 프린터 관련 특허출원 6건, Nature Communication 논문 1편, 산업통상자원부 장관상, 신진학술상 등을 수상하였으며, SEM 전자현미경 구조의 신개념 AEM 나노 3D 프린터의 삼극특허출원을 진행 중에 있다.

앞으로 기술 구체화를 위한 2단계에는 한국전자통신연구원, 한국전기연구원, 동경공업대학교의 3개 기관이 추가로 참여하며, 한국플렉시블일렉트로닉스산업협회(KoPEA), 한국3D프린팅산업협회(3DPIA), 독일 프라운호퍼 등 약 150개 기업체 멤버십을 통해, 바이오 및 전자산업 활성화와 기업체 기술이전, 신규기업 창업 등 활용도를 극대화 할 계획이다.