국립한밭대학교(총장 오용준)는 신소재공학과 학생들(지도교수 김정환)이 최근 열린 ‘한국기계가공학회 2024 추계학술대회’ 결과 최우수논문상 및 우수논문상, 혁신상을 수상했다고 20일 밝혔다. 

먼저 포스터 발표 부문 ‘최우수논문상’을 수상한 황해인 대학원생은 이번 대회에서 ‘저온 원자층 증착(ALD) 공정의 산화제 종류에 따른 박막 특성 및 봉지막 적용에 관한 연구’를 발표했다.

이는 투명 디스플레이 연구의 확산과 고집적화로 복잡해진 구조물의 균일한 봉지막 형성을 위한 연구로, 단차피복성이 우수한 ALD를 저온에서 최적 조건을 제시하고 다양한 분석을 통해 기존 저온 박막 증착 시 발생하는 고온 공정 대비 물성 저하 문제를 개선했다.

일반구두 발표 부문 ‘우수논문상’을 수상한 조인호 대학원생은 나노 단위에서 급증하는 비저항 크기 효과를 개선하는 ‘ALD 기반 저저항 Ru 금속 박막의 열처리 조건에 따른 비저항 변화 연구’를 진행했다.

Ru 금속 박막을 원자층 증착(ALD) 방식으로 제작하고 급속 열처리를 통해 비저항을 효과적으로 감소시키는 공정을 최적화하여 향후 3D 적층 구조와 같은 차세대 반도체 소자 공정에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

포스터 발표 부문 ‘우수논문상’을 수상한 박아현 학생은 ‘스퍼터링법으로 증착된 Cu 박막의 기판 변화에 따른 나노 스케일 정밀 가공을 위한 기계적 특성’ 연구로 DC 스퍼터링 기술을 활용해 저온에서 우수한 전기적 특성과 균일도를 가진 구리 박막을 형성했으며, 나노스케일 기계가공을 통해 기판의 경도에 따른 절삭성의 변화를 평가했다.

이 연구 결과는 고온 공정의 한계를 극복하고 유연 전자 기기 제조를 위한 차세대 공정 기술 개발의 기초 자료로 활용될 것으로 기대된다.

이번 학술대회와 함께 열린 캡스톤디자인 및 창의아이디어 경진대회에서는 LINC 3.0 사업단의 지원을 받아 캡스톤디자인 연구를 수행한 ‘LIP’팀(김준호․박아현․배웅열․김도현․김수민․노진수)은 ‘화재 대피용 안전 유도 라이프 지팡이’로 ‘혁신상’을 수상했다.

개발된 제품은 열과 일산화탄소(CO) 센서를 활용한 경고 시스템을 갖추고 있으며, 경량 설계로 사용자 안전성과 편의성을 동시에 향상시켰다.

학생들을 지도한 신소재공학과 김정환 교수는 “한 학술대회에서 최우수상 등 무려 4개의 상을 수상한 성과는 처음이며, 대학원생과 학부생들이 지도에 따라 열심히 연구한 결과가 이렇게 수상까지 이어지게 되어 기쁘고, 좋은 연구 환경을 지원해 준 대학본부 및 산학협력단 그리고 LINC 3.0 사업단에 감사드린다”고 전했다.