유럽 출장중인 이장우 대전시장은 10일(현지시간) 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점 공급하는 ASML社를 방문해 생산 및 연구시설을 둘러보고 대전시 나노반도체산업 육성을 위한 협력 방안을 모색하였다.

네덜란드 벨트호벤에 있는 ASML사는 7nm 이하 공정의 세밀한 반도체 생산을 위한 필수 장비인 극자외선(EUV) 노광장비를 유일하게 생산하는 세계 초우량 반도체 장비 기업이다.

ASML의 EUV장비는 대당 가격이 2,500억 원이며, 최근 개발한 EUA 장비는 대당 4,900억 원에 달한다. 연간 생산능력이 40여 대에 불과하여 삼성전자, 하이닉스, 인텔, TSMC 등 반도체 제조기업들이 EUV를 확보하기 위해 치열한 경쟁을 벌이고 있다. 

ASML 본사를 찾은 이 시장은 바트반 헤이저와이크 대외협력담당관, 이우경 ASML KOREA 대표이사 등 ASML 경영진들과 함께 홍보관과 생산시설 등을 둘러봤다. 

이 시장은 반도체 장비 기술개발과 테스트 과정, 대전 반도체 부품·소재 기업과의 협업 방안 등에 대해 상세하게 질문하고, 반도체 산업단지 조성, 국제 경쟁력 강화를 위한 기술지원 및 전문 인력 양성 등 대전시 반도체산업 육성전략을 설명하며 자문을 요청하기도 했다.

특히 이 시장은 “대전시도 반도체 소재부품 기업의 실증 지원을 위한 테스트베드 역할을 하기 위해 실증지원센터 구축을 계획하고 있다”며, “ASML과 대전의 연구개발 능력, 대전의 소재부품 기업이 함께하여 반도체 분야에서 ASML과 상생하고, 반도체 장비 국산화를 선도하는데 상호 협력할 수 있기를 기대한다”고 말했다. 

ASML 방문을 마친 이 시장은 벨기에 루벤으로 이동하여 세계 최고 나노 소자 반도체 연구기관인 IMEC*을 둘러보고 2027 세계하계대학경기대회 충청권 유치 활동을 위해 브뤼셀로 이동했다.

이장우 시장은 “세계 초우량 반도체 기업 및 연구소 방문을 통해 대전의 4대 미래핵심 전략산업의 하나인 나노반도체산업 육성을 위한 많은 아이디어를 얻었다”며, “출연연의 연구개발능력과 연구인력, 한국과학기술원(KAIST) 등 대학, 연구기관과 연계한 인력 양성 등 대전만이 가지고 있는 강점을 적극적으로 활용해 나노·반도체 산업 생태계를 조성하겠다”고 말했다.